真空ポンプを選ぶ際に注意すべきこと

1. 真空ポンプの作動圧力は、真空装置の限界真空度と作動圧力の要件を満たす必要があります。たとえば、真空コーティングには 1×10-5mmHg の真空度が必要であり、選択した真空ポンプの真空度は少なくとも 5×10-6mmHg である必要があります。通常、選択したポンプの真空度は、真空装置の真空度の半分から 1 桁高くなります。

2. 真空ポンプの作動点を正しく選択します。各ポンプには一定の作動圧力範囲があります。例えば、拡散ポンプは10-3～10-7mmHgです。このような広い圧力範囲では、ポンプのポンピング速度は圧力によって変化します。安定した作動圧力範囲は5×10-4～5×10-6mmHgです。したがって、ポンプの作動点はこの範囲内で選択する必要があり、10-8mmHg未満で長時間作動させないでください。

3、真空ポンプは作動圧力下で、真空装置のプロセス中に発生したガスをすべて排出できる必要があります。

4. 真空ポンプを正しく組み合わせます。真空ポンプには選択的なポンピングがあるため、1 つのポンプではポンピング要件を満たせない場合があります。そのため、ポンピング要件を満たすには、複数のポンプを組み合わせて互いに補完する必要があります。また、一部の真空ポンプは大気圧で動作できないため、事前真空引きが必要です。一部の真空ポンプの出口圧力は大気圧より低く、フロントポンプが必要なため、ポンプを組み合わせて使用​​する必要があります。

5、油汚染の要件を満たす真空装置。装置に厳密にオイルフリーが要求される場合は、水封ポンプ、極低温ポンプなど、さまざまな非オイルポンプを選択する必要があります。要件が厳しくない場合は、オイルポンプを選択できます。さらに、冷却トラップ、バッフルプレート、オイルトラップなどのいくつかの油汚染防止対策も、クリーン真空の要件を満たすことができます。

6. ポンプされるガスの組成、ガスに凝縮性蒸気が含まれているかどうか、粒子状の粉塵があるかどうか、腐食があるかどうかなどを理解します。真空ポンプを選択するときは、ガスの組成を知り、ポンプされるガスに対応するポンプを選択する必要があります。ガスに蒸気、粒子、腐食性ガスが含まれている場合は、コンデンサー、集塵機などの補助機器をポンプの入口パイプに設置することを検討する必要があります。

7. 真空ポンプから排出される油蒸気は環境にどのような影響を与えますか? 環境汚染が許されない場合、オイルフリー真空ポンプを選択するか、油蒸気を外部に排出することができます。

8. 真空ポンプの動作中に発生する振動がプロセスと環境に影響を与えるかどうか。プロセスが許容しない場合は、非振動ポンプを選択するか、防振対策を講じる必要があります。