往復真空ポンプの動作原理

往復動真空ポンプ（レシプロポンプとも呼ばれる）は、ピストン真空ポンプとも呼ばれ、低真空獲得装置の1つに属します。ロータリーベーン真空ポンプと比較して、高い排気速度のポンプにすることができます。水リング真空ポンプと比較して、効率はわずかに高くなります。このタイプのポンプの主な欠点は、構造が複雑で、容積が大きく、動作中に振動が大きいことです。多くの場合、液封式真空ポンプに置き換えることができます。

往復真空ポンプの動作原理：

往復真空ポンプの構造：主な部品は往復直線運動を行うシリンダーとピストンで、ピストンはクランクコネクティングロッド機構（クロスヘッドを含む）によって駆動されて完成します。往復真空ポンプには、上記の主要部品のほかに、排気バルブや吸入バルブなどの重要な部品や、フレーム、クランクケース、動圧シール、静圧シールなどの補助部品もあります。

往復真空ポンプが作動しているとき、モーターとクランクコネクティングロッド機構の作用によって駆動され、シリンダー内のピストンが往復運動します。ピストンがシリンダー内で左端から右端に移動すると、シリンダーの左室の容積が増加するため、シリンダー内のガスの密度が低下し、ポンピングプロセスが形成されます。このとき、ポンプされた容器内のガスは、吸入バルブを介して往復真空ポンプの左室に入ります。ピストンが右端の位置に達すると、シリンダーの左室はガスで完全に満たされます。次に、ピストンは右端から左端に移動し、吸入バルブが閉じます。

往復真空ポンプのシリンダー内のガスは、ステーションピストンが右から左に動くことで徐々に圧縮され、シリンダー内のガスの圧力が1気圧に達するか、またはわずかに高くなると、排気バルブが開き、ガスが大気中に排出されて作業サイクルが完了します。ピストンが再び左から右に動くと、前のサイクルが繰り返され、最終的にポンプされた容器内の安定した平衡圧力に達します。

往復動真空ポンプのシリンダの両端には、一般的にポンプ効率を上げるために吸入弁と排気弁が設けられ、シリンダ両端の吸入ポートと排気ポートは配管で並列に接続されます。