液封式真空ポンプにおける真空発生

1. 入口

ポンプで送られる媒体は、液封式真空ポンプの入口ポートから入ります。

作動流体は円筒形の真空ポンプハウジング内に部分的に充填されます。

偏心して取り付けられたインペラのブレードが流体に浸かります。

真空ポンプのインペラが連続的に回転すると、遠心力が発生し、ハウジング内に液体のリングが形成されます。

2. 圧縮

真空ポンプのインペラブレードと液体リングの間に空間が形成されます。

真空ポンプのインペラの偏心回転により、各空間の容積が変化します。

ポンプで送られた媒体は空間に吸引され、圧縮されます。

より高い真空レベルを実現するために、シングルステージバージョンでは圧縮が 1 回、2 ステージバージョンでは圧縮が 2 回実行されます。

3. アウトレット

圧縮後、ポンプで汲み上げられた媒体は出口液封真空ポンプを介して放出されます。

排気ガスは圧縮ガスと作動流体の混合物です。