ルーツ式真空ポンプの応用例

ルーツ式真空ポンプは、中真空および高真空域における高い排気速度、オイルフリー運転、低脈動、および迅速な起動を特徴としています。迅速な真空確立、高い排気速度、および安定した連続運転が求められる産業現場に最適です。主な産業用途は以下のとおりです。

新エネルギーとリチウム電池

リチウムイオン電池の製造においては、電極の真空乾燥、電解液充填時の脱ガス、セルの真空包装、および電解液の脱ガスに使用されます。補助ポンプと組み合わせることで、効率が大幅に向上します。また、太陽光発電製品やエネルギー貯蔵製品の真空コーティング、真空アニーリング、真空含浸にも応用されています。

電子工学および半導体

これらは、光学レンズ、携帯電話や自動車部品、半導体ウェハーなどのPVDやCVDといった真空コーティングプロセスにおいて、迅速な高真空形成と均一なコーティングを実現するために用いられます。また、フォトリソグラフィ、スパッタリング、エッチング、パッケージング、OLEDやLEDの製造排気、電子ビーム溶接など、チップやディスプレイの製造にも利用されます。電子部品においては、真空脱ガス、真空ろう付け、真空リーク検出などに使用されます。

真空冶金および材料

これらは、合金鋼、チタン合金、超合金の真空溶解および脱ガス処理において、酸素および窒素含有量を低減し、材料の純度を向上させるために使用されます。また、真空熱処理、ろう付け、大型ワークピースの真空焼鈍、粉末冶金、セラミックス、超硬合金の真空焼結にも使用されます。

製薬業界および食品業界

医薬品製造においては、有効成分を保護するために脈動の少ない安定した真空状態を医薬品や生物製剤の凍結乾燥に提供します。また、抗生物質、ビタミン、漢方薬の抽出における真空濃縮や蒸留、溶媒回収にも使用されます。食品業界では、果物、野菜、肉、魚介類の真空凍結乾燥に加え、真空包装や真空含浸にも利用されています。

化学および石油化学産業

これらは、ファインケミカルの真空蒸留および精留、石油精製、熱に弱い物質の分離、高沸点物質の精製などに使用されます。また、化学原料の真空乾燥、脱溶媒、溶媒回収、脱水、ならびに重合、縮合、エステル化などの低圧反応にも使用されます。

電力および電気機器

これらは、変圧器や変流器の真空乾燥および含浸処理に使用され、水分やガスを除去して絶縁性能を向上させます。また、高電圧ケーブルの真空乾燥やモーターコイルの真空含浸にも使用されます。

その他の産業および科学研究への応用

これらは、木材保存のための真空含浸、コンデンサやコイルの絶縁処理、鋳造品の浸透などに用いられます。また、圧力容器、パイプライン、貯蔵タンク、航空宇宙部品の漏洩検知にも使用されます。さらに、宇宙空間シミュレーションや衛星・宇宙船の真空試験にも活用されています。環境保護や繊維分野では、排ガス吸着、染色における真空脱水、不織布の真空成形などに使用されています。

標準的な構成と選択に関する注意事項

ルーツポンプは単独では直接大気へ排出できないため、ベーンポンプ、スクリューポンプ、液封ポンプなどの補助ポンプと組み合わせてユニットとして構成する必要があります。中真空および高真空域で最高の効率を発揮します。主な選定パラメータには、排気速度、到達真空度、水蒸気および粉塵に対する耐性、ガスバラスト能力、防爆等級などがあります。